张育胜 太阳能电池刻蚀机的控制系统研究 《电子工业专用设备》 2008,37(8)_中国科学院微电子研究所 - 发表文章
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 张育胜 太阳能电池刻蚀机的控制系统研究 《电子工业专用设备》 2008,37(8)
2009-04-10 | 编辑:IME | 【

太阳能电池刻蚀机的控制系统研究

《电子工业专用设备》 2008,37(8)
作者:张育胜

中文摘要:
太阳能电池刻蚀机的自动生产流程是逻辑控制系统,提出采用树形结构对逻辑控制系统进行分析,各子系统用树形结构进行设计,终端子系统采

用时序图方法进行设计,综合了组合逻辑和时序逻辑控制。此方法应用于自动太阳能电池刻蚀机,提高了系统的处理速度和可靠性。

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